„Fizikiniais metodais nusodintų plonų chromo ir chromo kompozicinių plėvelių paviršiaus morfologija, kohezinės ir adhezinės savybės“

Autorius, institucija: Algirdas Lazauskas, Kauno technologijos universitetas

Mokslo sritis, kryptis: Technologijos mokslai, medžiagų inžinerija

Mokslinis vadovas: dr. Viktoras GRIGALIŪNAS (Kauno technologijos universitetas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T).

Medžiagų inžinerijos mokslo krypties taryba:

prof. habil. dr. Juozas Vidas GRAŽULEVIČIUS (Kauno technologijos universitetas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T) – pirmininkas,

doc. dr. Donats ERTS (Latvijos universitetas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T),

prof. habil. dr. Arvaidas GALDIKAS (Kauno technologijos universitetas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T),

prof. dr. Giedrius LAUKAITIS (Kauno technologijos universitetas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T),

doc. dr. Bonifacas VENGALIS (Fizinių ir technologijos mokslų centro Puslaidininkių fizikos institutas, technologijos mokslai, medžiagų inžinerija – 08T).

Anotacija

Plona chromo plėvelė ant stiklo pagrindo yra pagrindinis litografinių kaukių, precizinių optinių liniuočių ir limbų gamybos komponentas, nes plėvelėje formuojami didelės skiriamosios gebos topografiniai piešiniai. Šie piešiniai yra plačiai naudojami moderniausiuose mikro- ir nanotechnologijų procesuose, įvairiuose metrologiniuose instrumentuose, judesio sistemose, precizinio tikslumo medžiagų apdirbimo staklėse, fotoelektriniuose linijinių ir kampinių poslinkių matavimo keitikliuose. Tokių sistemų ir įrenginių technologinis progresas kelia naujus aukštos kokybės reikalavimus plonoms chromo plėvelėms.

Šiame darbe buvo siekiama sumažinti chromo plėvelių paviršiaus šiurkštumą bei pagerinti jų mechanines savybes (atsparumą įbrėžimams/dilimui). Disertacija apima stiklo (naudojamo litografinių kaukių, precizinių optinių liniuočių ir limbų gamyboje) paviršiaus paruošimo metodų efektyvumo sisteminę studiją, skirtingais fizikiniais metodais nusodintų plonų chromo plėvelių bei apsauginių deimanto tipo anglies (DLC) ir DLC-polimero kompozicinių plėvelių savybių tyrimą, o taip pat naujų chromo kompozicinių plėvelių sukūrimą.

Sisteminiai tyrimai parodė, kad plonos chromo plėvelės adheziją su silikatiniu plukdytuoju stiklu labiausiai pagerina apdorojimas deguonies jonų plazmoje ir cheminis paviršiaus paruošimas amonio hidroksido ir vandenilio peroksido vandeniniame tirpale. Nustatyta, kad dviem žingsniais termiškai garintos plonos chromo plėvelės, po pirmo garinimo jas apdorojant deguonies jonų plazmoje, pasižymi geresnėmis plėvelės kohezinėmis savybėmis ir adhezija su stiklo pagrindu, lyginant su įprastinėmis plonomis chromo plėvelėmis.