Plonų plėvelių garinimo elektronų pluoštu įrenginys

Projekto nr.: 10-093-K-0073

Projekto aprašymas:

Projekto tikslas įsigyti naują, modernų elektroninio garinimo įrenginį (Plonų sluoksnių vakuuminio formavimo sistemą su elektroninio spindulio garinimu). Šis metodas pasirinktas kaip optimalus sprendimas, šalinantis visas įvardintas problemas. Naujoji įranga leis užtvirtinti pilną, nepertraukiamą nanogamybos procesų liniją ISO5 klasės švariajame kambaryje.

Projekto finansavimas:

Projektas finansuojamas Ekonomikos gaivinimo ir atsparumo didinimo priemonės lėšomis pagal planą „Naujos kartos Lietuva“ bei Lietuvos Respublikos valstybės biudžeto lėšomis.

Projekto rezultatai:

Projektu siekiami rezultatai:
• Modernizuota ir pilnai sukomplektuota KTU MMI CR nanogamybos infrastruktūra, pašalinant kritinę technologinę spragą ir įdiegiant pilną, nepertraukiamą, ISO5 standartus
atitinkančią nanogamybos procesų seką.
• Sustiprinti tarptautiniai įsipareigojimai (įskaitant šiuo metu institute vykdomus du „Horizon Europe“ projektus) ir strateginis bendradarbiavimas (pvz., CERN).
• Sudarytos realios sąlygos vystyti proveržio MTEP kryptis (metaoptika, mikrolustai, kvantinės technologijos), taip didinant Lietuvos tarptautinį konkurencingumą

Projekto įgyvendinimo laikotarpis: 2026-04-13 - 2027-01-31

Projekto koordinatorius: Kauno technologijos universitetas