Silicio metalęšio, skirto šiluminei mikroskopijai, nanogamyba

 

Projekto nr.: P-SV4-26-67

Projekto aprašymas:

Ši vasaros praktika orientuota į dielektrinių fazės gradiento metapaviršių, optimizuotų terminiam vaizdinimui ilgųjų bangų infraraudonųjų spindulių (LWIR) spektre, nanogamybą. Naudojant subbanginių silicio nanostulpelių masyvus optiniam bangos frontui valdyti, šiais plokščiais, itin plonais prietaisais siekiama pakeisti didelių gabaritų, sunkius refrakcinius lęšius, dažniausiai naudojamus medicininėje diagnostikoje ir stebėjimo sistemose. Praktikos tikslas – suteikti studentams praktinės šių struktūrų nanogamybos patirties, naudojant pažangius puslaidininkių nanogamybos metodus, prieinamus Kauno technologijos universiteto Medžiagų mokslo instituto švariosiose patalpose. Studentas(-ė) susipažins su didelio lūžio rodiklio dielektrinių metapaviršių projektavimo principais ir įgis praktinių įgūdžių gamybos procese, apimančiame elektronų pluošto litografiją (EBL) rašto formavimui, kaukės perkėlimo metodus bei kriogeninį gilųjį reaktyvųjį joninį ėsdinimą (cryo-DRIE), skirtą suformuoti didelio kraštinių santykio vertikalias struktūras. Be to, studentas(-ė) charakterizuos nanostruktūras naudodamas skenuojančią elektroninę mikroskopiją (SEM) ir integruos pagamintą metalęšį su mikrobolometrine kamera, taip sukurdamas kompaktišką šiluminį mikroskopą. Praktikos metu studentai dirbs su vadovo priežiūra, siekiant užtikrinti efektyvų ir saugų darbą. Bus siekiama patvirtinti plokščiosios optikos galimybes pasiekti difrakcijos ribojamą fokusavimą šiluminiams taikymams. Projekto pabaigoje studentas aprašys sėkmingus gamybos parametrus ir pademonstruos metalęšio optinio didinimo galimybes. Ši praktika skirta fizikos, inžinerijos ar medžiagų mokslo studentams, turintiems tvirtas bangų optikos žinias ir besidomintiems fotonikos bei nanotechnologijų sankirta.

Projekto finansavimas:

LR valstybės biudžeto lėšomis finansuojami studentų tyrimai ir praktikos

Projekto rezultatai:

–

Projekto įgyvendinimo laikotarpis: 2026-07-01 - 2026-08-31

Projekto koordinatorius: Kauno technologijos universitetas